羅茨真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到最佳配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點：
 

　　首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。
 

　　在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查羅茨真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的*佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。
 

　　檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。
 

　　選擇羅茨真空泵的八個著重點：
 

　　⑴工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
 

　　⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
 

　　⑶在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
 

　　⑷正確地組設備。由于有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
 

　　⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
 

　　⑹正確地選擇工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
 

　　⑺排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油型，或者把油蒸氣排到室外。
 

　　⑻工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的極限真空度至少要2mmHg，最好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。