1.極限真空不高及其消除 

（1） 油位太低，有較大排氣聲，可加入清潔的真空泵油。 

（2） 泵油為可凝性蒸汽所污染，可開氣鎮凈化或更換新油。 

（3） 泵口外接管道、容器、測試儀表管道、接頭等漏氣。大漏時，有大排氣聲，排氣口有氣排出，應找出漏氣部位，進行消除。 

（4） 進氣咀或氣鎮閥橡膠密封圖裝配不當，損壞或老化，應調整或更換。 

（5） 進油咀油孔堵塞，可拔出進油咀，疏通油孔。 

（6） 真空系統嚴重污染，包括容器、管道等，應予清洗。 

（7） 旋片彈簧折斷，應予調換。 

（8） 旋片、泵身或蓋磨損，間隙過大，應進行檢查，修整或調換。 

（9） 泵溫過高，應改善通風和冷卻。如所抽氣體溫度太高，應予先冷卻后再進入泵內。 

2.噴油 

（1） 油位過高，可入出多余油量。 

（2） 減霧器中有泵油或雜物，應清除。 

3.漏油 放油螺塞，油箱墊片損壞或裝配不當，螺釘擰緊； 油標未擰緊，有機玻璃過熱變形； 泵身部件與支座的連接摯墊片未墊好； 油封裝配不當或磨損；應予調整或更換。 

4.噪聲 

（1） 旋片彈簧折斷，可調換彈簧。 

（2） 有毛刺、臟物或變形，運轉發生障礙，應檢查修磨清洗。 

（3） 軸承磨損，零件磨損。應修整或更換。 

（4） 電機出毛病，應進行檢查。 

5.返油 

(1) 止回閥未關好，停泵后，油位很快下降，可再開再停，觀察變化或拆開檢查。 

(2) 兩泵蓋內油封裝配不當或磨損，可進行調換。 

(3) 泵蓋或泵身平面不平整，可進行修整。 

(4) 排氣閥片損壞，應進行調換。 

注： 檢查泵的極限真空，以壓縮式水銀真空計為準。