羅茨滑閥真空機組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級泵串聯組成的真空機組。通過真空繼電器或電接點壓力表，來實現羅茨泵滑閥泵的自動啟閉，自動過載保護。整套機組安裝在一個機架上，配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統。機組結構緊湊，使用方便。

根據被抽真空系統的大小及極限壓力的不同，真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4：至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油，在前級進口管道上裝有電磁充氣閥，其動作與前級泵電動機實現聯動，當滑閥泵停泵前，向泵口充氣，確保滑閥泵內的真空油返回到油箱內，同時防止真空系統受到真空油污染。