真空泵系統基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，因此選用不同類型真空泵組成的真空抽氣機組進行抽氣的情況較多。
 

　　真空泵系統在使用過程應當注意：
 

　　1、真空泵系統的可靠性問題：根據微型泵出故障后產生后果的嚴重性而定，*根據自己的要求。特別注意，這項參數是在滿負荷、不間斷的運行狀態下測定的，是較惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續運行，該數值會高一些，高多少視泵的工況而定。該性能*是考驗制造商的技術實力，從產品外觀上可以看出一些，如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當的情況下重量較重等。根據產品價格也可略知一二。
 

　　2、真空泵系統的電磁干擾問題：如果有精密電路控制真空泵系統，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的實驗室真空泵。
 

　　3、帶負載啟動問題：如果微型氣泵在啟動前它的抽氣口就已經存在真空或排氣口已經存在壓力，則要考慮泵的另一技術參數：進氣口負載Pis值，排氣口啟動負載Pos值。典型應用事例就是使用微型氣泵維持容器內的真空或正壓狀態，當容器內的真空或正壓低于設定值時，需要泵通電啟動，高于設定值時停機。
 

　　4、真空泵系統的介質溫度問題：根據通過泵的介質氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。
 

　　要特別注意：真空泵系統不適用于抽除對黑色金屬有腐蝕的，對泵油起化學反應的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高，有爆炸性的氣體。更不能作為傳輸泵(即從一個容器抽送到另一個容器)使用。